微小气体质量流量计AEORHC 模拟通讯质量流量控制器（MFC）参数：
规格
4800 系列
Full Scale Range (N2 Eqv)
单气体2CM-50SLM
Control Valve Type 阀门类型
常闭式螺线管
Fitting 接头
1/4"VCR兼容 or 1/4"Swagelok兼容
Seals 密封
橡胶 Viton/FFKM/金属密封
Response Time 响应时间
到达设定点±2% 所需时间≤1Sec
Accuracy 精度
≤满量程1%
Linearity 线性度
≤ 满量程的±1%
Repeatability 重复性
≤ 满量程的±0.5%
Differential Pressure 压差
7 - 40psi
10 - 40psi
Leak lntegrity 漏率
Max：1x10-7Pa.m3/sec (He)
Control Range 控制范围
满量程的5-100%
Max Operating Pressure 高操作压力
70psi
Proof Pressure 承受压力
Z大值150psi
Communication Type 通讯模式
模拟0-5V/4-20mA
Input Power
输入功率
+15VDC ±2% at 25mA
-15VDC ±2% at 180mA
Command Signal 控制信号
模拟信号0-5 VDC
Output Signal 输出模拟信号
模拟信号0-5 VDC
Power Consumption 功耗
3.1W
Temperature Range 温度范围
5-45 Deg C
Materials 材料
316LSS，PTFE
Weight 重量
0.8kg
微小气体质量流量计的特点：
1、结构紧凑；
2、高精度；
3、稳定性好；
4、可测量腐蚀性气体；
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