设备基本原理与特点
1. 基本原理
该真空氢气烧结多功能一体炉是用金属钼带作发热元件及纯金属隔热屏的全金属热场真空电阻炉，具有高洁净度、污染小、高真空度等优点，主要应用于电容、钽材等金属及由难熔金属组成的合金材料、陶瓷材料等在真空或保护气氛中高温烧结，也可以供金属材料在高真空条件下的高温热处理或贵金属材料的除气处理。
2.设备特点
1) 采用卧式、侧开门结构：装、卸物料精度高，操作方便；
2) 升温快：升温速率1~10℃/分钟（≤1600℃），升温速率1~5℃/分钟（＞1600℃）；
3) 温度均匀性好：平均温度均匀性为±5℃（5点测温，恒温区1000℃保温1h后检测）；
4) 安全性能好：采用HMI+PLC+PID程序控温，安全可靠；
5) 炉门锁紧为齿啮快卸法兰，操作方便安全可靠。
二、主要技术参数
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编号 |
H2MO13 |
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产品型号 |
VHHmo-20/20/30-1300 |
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z高设计温度（ ℃ ） |
1300 |
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加热元件 |
高纯钼带 |
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加热功率（Kw） |
40 |
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冷态极限真空度（ Pa ） |
6.7x10-3Pa（空炉、冷态、经净化） |
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测温元件 |
钨铼热电偶 |
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升温速率 |
1~20℃/min |
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温度均匀性 |
±5℃（5点测温，恒温区1000℃保温1h后检测） |
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炉膛尺寸（mm） |
200x200x300（WxHxD） |
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可充气氛 |
氢气/氮氢混合气 |
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设备外形尺寸（ mm ） |
1425x1550x1850mm(DxWxH) |
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